辽宁代表团建议：支持沈阳IC装备产业发展

作者：王笑梅

“支持沈阳IC装备产业加快发展，对实现我国集成电路产业自主可控具有重要意义。”3月10日，记者从辽宁代表团了解到，关于支持沈阳IC装备产业发展的建议，作为全团建议向十三届全国人大四次会议提交。

早在2004年，沈阳就率先建立了全国第一个IC装备制造产业基地。2010年，该基地被科技部认定为“国家集成电路装备高新技术产业化基地”，同年成立了国内唯一的IC装备产业技术创新战略联盟。目前，沈阳已经形成了“一项控制系统技术、一批核心部件、八类重要整机装备和一个关键零部件支撑平台”的生产配套能力，产品种类覆盖沉积、光刻、刻蚀、封装各大工艺领域，与北京、上海构成了我国IC装备产业发展三大重点地区。“十四五”时期，沈阳将进一步拓展产业空间，打造产业高地，加快形成面向全球产业链的研发、生产和供应基地。

辽宁代表团认为，目前沈阳IC装备产业的核心企业正处于高速成长关键期，迫切需要金融资本快速跟进，助推企业做大做强。

辽宁代表团认为，支持沈阳IC装备产业加快发展，有利于国家构建从零部件到整机装备的完整集成电路装备制造产业链供应链，提升国产集成电路装备产业协同创新能力和高质量发展水平，突破国外对我国高端IC装备产品的封锁，对实现我国集成电路产业自主可控具有重要意义。

为此，辽宁代表团建议工信部在沈阳设立国家集成电路装备制造产业基地并给予支持，协调国家集成电路产业投资基金大力支持沈阳IC装备产业发展。同时，建议科技部在“十四五”时期，继续支持沈阳IC装备产业发展，国家科技重大专项向沈阳倾斜。